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RF射频电源维修

RF射频电源维修

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一、射频电源维修简介

我公司专业维修磁控溅射电源、RF射频电源、真空镀膜电源、MF中频电源、美国镀膜电源、德国ROF射频电源等,公司拥有多名在工业电源维修方面经验丰富的工程师并配有的齐全的维检设备,还搭建了配套测试平台,修复时间短,成功率高,备件充足且

有快捷的电子配件进货渠道,大大缩短了维修时间,为客户羸得宝贵的时间。服务周到、价格实在。










三、部分维修型号

AE电源系统:
AE电镀电源、AE射频电源 RFG:RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2VRFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV
APEX:Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013
Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid F
RFX:RFX 600、RFX 600A、RFX 1250、RFX 2500、RFX 5500、RFG-AZX
RFX II:RFX II 1250、RFX II 3000、RFX II 5500
HFG:HFG 2500、HFG 5000、HFG 4M
HFV:HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L 3KW
Ovation VHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162
ICP Generator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW
Dressler HPG:HPG 03300、HPG 13150、HPG 13300、HPG 27300
Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220
美国COMDEL射频电源:
应用对象包括:刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源
CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频(VHF)电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源CDX 1000 - P/N FP5201R1/CDX 2000 - P/N FP5315RF/CDX 2000 - P/N FP5318R2/CDX 2000 - P/N FP5319R2/CDX 2000 - P/N FP5320R3/CLF 500 - P/N FP1254R2/CLF 1000 - P/N FP1252R2/CLF 5000 - P/N FP1541RC/CLX 600 - P/N FP1245R1/CLX 2500 - P/N FP1333R2/CLX 2500 - P/N FP1335R2/CLX 2500 - P/N FP1335R4/CLX 2500 - P/N FP1336R3/CPS 500 - P/N FP0112RF/CPS 500AS - P/N FP0113RK/CPS 1000 - P/N FP0213RK/CPS 1001 - P/N FP0213RJ/CX 650 - P/N FP3116R3/CX1250S - P/N FP3212RB/CX 1250S - P/N FP3212RC/AGA-27 60Mhz 2,7kW - P/N/AGA-27A3/ENI / MKS/DPGS-10 - DC / RF Generator - P/N DPGS-10-04/DPGS-10 - DC / RF Generator - P/N DPGS-10-05/DPGD-10 - DC /RF Generator - P/N DPGD-10-04/DPGD-10 - DC /RF Generator - P/N DPGD-10-05
美国SEREN(赛恩)电源:
R系列射频电源:R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13 HR系列射频电源:HR601HRL10011001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001 L系列低频电源:L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射频电源:专用于ICP领域

AT系列自动匹配器:AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250

德国镀膜电源:
PFG300-RF、PFG600-RF、PFG1000-RF、PFG1600-RF、PFG2500-RF、PFG5000-RF





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